揮發(fā)性有機物（VOCs）和氮氧化物（NOx）可以在大氣中通過一系列光化學(xué)反應(yīng)生成臭氧（O3），其屬于二次污染物，對人體健康和生態(tài)環(huán)境均產(chǎn)生較大影響。《環(huán)境空氣質(zhì)量標準》（GB 3095—2012）將臭氧8 h濃度作為一項監(jiān)測指標，其參與空氣質(zhì)量考核[1]。監(jiān)測數(shù)據(jù)顯示，近年來，我國重點城市顆粒物污染有所減緩，但臭氧污染問題日益嚴峻，尤其在京津冀地區(qū)，O3濃度不降反升，其與PM2.5并列成為影響空氣質(zhì)量的重要污染物，高質(zhì)量的臭氧監(jiān)測數(shù)據(jù)對打贏我國大氣污染防治攻堅戰(zhàn)起到基礎(chǔ)保障作用。
臭氧發(fā)生器采用氧氣源是臭氧技術(shù)的一個重大進步。和采用空氣源相比，氧氣氣源使臭氧發(fā)生器臭氧功能發(fā)生巨大變化。
1.氧氣源使臭氧出口濃度提高8-10倍。空氣源臭氧發(fā)生管出口濃度高為9-11mg/L,低小于1mg/L。而采用氧氣，出口濃度可達80-130mg/L。
2.氧氣源使臭氧殺菌或氧化能力大大提高。高濃度氧氣產(chǎn)生高濃度臭氧。從而使臭氧殺菌或氧化能力大大提高。有些細菌病毒用空氣源臭氧很難殺死，采用氧氣源臭氧就很容易殺死。有些化合物只有采用氧氣源臭氧才能氧化。
3.氧氣源使臭氧產(chǎn)量提高3-5倍。氧氣源臭氧發(fā)生器比空氣源臭氧發(fā)生器提高產(chǎn)量3-5倍。大大提高了臭氧發(fā)生管的利用效率。
4.氧氣源沒有氮化物污染。臭氧管采用空氣源時，因為空氣中含78%的氮氣，所以在產(chǎn)生臭氧的同時會有氮化物產(chǎn)生。而采用氧氣源避免了氮化物的產(chǎn)生。
5.氧氣源系統(tǒng)體積小。臭氧發(fā)生器采用空氣源，氣體的前期處理結(jié)構(gòu)龐雜，結(jié)構(gòu)比氧氣源臭氧發(fā)生器至少大3倍，耗電相應(yīng)增加，導(dǎo)致成本增加，維護費用增加。采用制氧機提供氧氣，臭氧濃度大大提升，綜合造價大大降低。
